（1）外殼： 整個外殼通常由絕緣材料和金屬組成。對外殼的要求首先是氣密封要好；其次是要有一定的機械強度；再是有良好的絕緣性能。
（2）波紋管： 波紋管既要保證滅弧室完全密封，又要在滅弧室外部操動時使觸頭作分合運動，允許伸縮量決定了滅弧室所能獲得的觸頭最大開距。
（3）屏蔽罩： 觸頭周圍的屏蔽罩主要是用來吸附燃弧時觸頭上蒸發的金屬蒸氣，防止絕緣外殼因金屬蒸氣的污染而引起絕緣強度降低和絕緣破壞，同時，也有利于熄弧后弧隙介質強度的迅速恢復。在波紋管外面用屏蔽罩，可使波紋管免遭金屬蒸氣的燒損。
（4）導電系統： 定導電桿、定跑弧面、定觸頭、動觸頭、動跑弧面、動導電桿構成了滅弧室的導電系統。其中定導電桿、定跑弧面、定觸頭合稱定電極，動觸頭、動跑弧面、動導電桿合稱動電極，由真空滅弧室組裝成的真空斷路器合閘時，操動機構通過動導電桿的運動，使兩觸頭閉合，完成了電路的接通。
（5）觸頭：觸頭結構對滅孤室的開斷能力有很大影響。采用不同結構觸頭產生的滅弧效果有所不同的，早期采用簡單的圓柱形觸頭，結構雖簡單，但開斷能力不能滿足斷路器的要求，僅能開斷10kA以下電流。目前，常采用的有螺旋糟型結構觸頭、帶斜槽杯狀結構觸頭和縱磁場杯狀結構觸頭三種，其中以采用縱磁場杯狀結構觸頭為主。
真空滅弧室是真空斷路器中最重要的部件。真空滅弧室的外殼是由絕緣筒、兩端的金屬蓋板和波紋管所組成的密封容器。滅弧室內有一對觸頭，靜觸頭焊接在靜導電桿上，動觸頭焊接在動導電桿上，動導電桿在中部與波紋管的一個斷口焊在一起，波紋管的另一端口與動端蓋的中孔焊接，動導電桿從中孔穿出外殼。由于波紋管可以在軸向上自由伸縮，故這種結構即能實現在滅弧室外帶動動觸頭作分合運動，又能保證真空外殼的密封性。