真空斷路器是以在真空中熄弧為特點，但不是在任何真空度下都可以，而是在某一定真空度范圍內才具有良好的絕緣和滅弧性能。真空是良好的絕緣體。氣體壓力越低，絕緣性能越好。當氣體壓力在0.01PA以上時，氣體間隙的絕緣強度還不高。此時有許多氣體原子通過開斷電弧，會產生大量的載流子，當壓力低于0.01PA時，氣體原子不再足以形成開斷電弧。但是當壓力低于10-8Pa時，真空的絕緣能力又會下降。因為當壓力低到10-8Pa時，電子很容易從金屬電極中逸出。因之，真空開關中的真空度應保持在10-2～10-8Pa范圍內。因為電弧中的載流子很少，故電極開距雖只有幾毫米，但也能熄滅電弧。在大多數情況下，電極開距約為10mm左右，此時的電弧載流子由觸頭的金屬粒子組成。
我國的真空技術已能保證真空開關需要的真空度，而且封接技術可保證不漏氣，保持真空度。