真空滅弧室早在19世紀就出現了，那是在1893 年，由美國人里頓豪斯設計出世界上第1 只真空滅弧室。隨后在1920年，瑞典佛加公司研制出世界上第一臺真空開關;而在1956年，羅斯對杰寧公司生產的用于高頻回路的真空開關進行改造，試制出15kV、200A的真空開關。而對于我國，發展還是相對較晚的，在1968年才誕生了我國第一只商用真空滅弧室，在1978年后，國內有10多家工廠正式投入生產，如此才有現在蓬勃向上的狀況。